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德瑞克DRK8090光电轮廓仪
名称：DRK8090光电轮廓仪
品牌：德瑞克 DRICK
介绍：
本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法，测量时不损伤工件表面，能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形，并分析计算出测量结果。
特点：
适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度；标尺、度盘的刻线深度；光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌；磁（光）盘、磁头表面结构测量；硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
由于仪器测量精度高，具有非接触和三维测量的特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校和科学研究单位等。
参数：
| 在连续表面上，相邻二象素之间没有大于1 / 4 波长的高度突变时 | 1000 一1nm |
| 相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长的高度突变时 | 130 一1nm |
| 测量的重复性 | δRa ≤0.5nm |
| 物镜倍率 | 40X |
| 数值孔径 | 65 |
| 工作距离 | 0.5mm |
| 仪器视场 目视 | 0.25mm |
| 摄象 | 0.13×0.13mm |
| 仪器放大倍数 目视 | 500× |
| 摄象（计算机屏幕观察） | 一2500× |
| 接收器测量列阵 | 1000X1000 |
| 象素尺寸 | 5.2×5.2µm |
| 测量时间采样（扫描）时间 | 1S |
| 仪器标准镜 反射率（高） | ～50 % |
| 反射率（低） | ～4 % |
| 照明光源 | 白炽灯6V 5W |
| 绿色干涉滤光片波长 | λ≒530nm |
| 半宽度 | λ≒10nm |
| 主显微镜升程 | 110 mm |
| 工作台升程 | 5 mm |
| X 、丫方向移动范围 | ～10 mm |
| 工作台旋转运动范围 | 360° |
| 工作台顷斜范围 | ±6° |
| 计算机系统 | P4 , 2 .8G 以上，内存1G以上17寸纯平显示器 |
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发布时间：2023-09-28 12:33
